Анализ технологических факторов процесса термомиграции
Оценены перспективы разработки технологии создания сквозных разделительных р+-зон термомиграцией на пластинах кремния больших диаметров. Представлены результаты анализа распределения обратных напряжений UR на чипах диодов прямой полярности,изготовленных на пластинах Ø76 мм с использованием термомиграции.